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潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道組成，由FFU提供循環空氣的動力，將新風、循環風混合后通過超高效過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負壓。

FFU集成電路設計優點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等，多數潔凈室要求環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統剛好可以**大化滿足這些要求。

潔凈室按照回風特點分為三個系統：

1.FFU循環系統;

2.循環空調機配合高效送風口系統;

3.循環風機配合濕式密封系統和。

FFU集成電路系統的三種類型：

1.**適合半導體制造業的FFU循環系統

FFU循環系統①不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產的情況下隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造的需求。

2.**適合小規模潔凈室的FFU循環系統

在小規模低等級要求的潔凈室設計中被廣應用，對于大面積高等級的潔凈室則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

3.全能型FFU循環系統

這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。